가스의 질량 유량을 재면서 동시에 그 값으로 유량을 제어하는 MFC 입니다. 압력이나 온도가 흔들려도 설정한 유량을 유지하기 때문에, 반도체 · 연구 설비처럼 가스량이 결과를 좌우하는 공정에 씁니다. 질소 기준 0 ~ 50 l/min 범위에서 EtherCAT · RS-485 통신이나 아날로그 전압 · 전류로 설비와 연결합니다.
| 1 | 유량 범위 | 5NL = 0…5 · 10NL = 0…10 · 15NL = 0…15 · 20NL = 0…20 · 25NL = 0…25 · 30NL = 0…30 · 35NL = 0…35 · 40NL = 0…40 · 45NL = 0…45 · 50NL = 0…50 l/min |
|---|---|---|
| 2 | 신호 모드 | A = RS-485 (Modbus-RTU) · B = EtherCAT · C = 0…5V · D = 0…10V · E = 4…20mA |
| 3 | 공급 전압 | 24D = 24 V DC |
| 4 | 연결구 | 1 = 3mm 더블 페룰 · 2 = 6mm 더블 페룰 (기본) · 3 = 8mm 더블 페룰 · 4 = 1/8인치 · 5 = 1/4인치 · 6 = 3/8인치 · 7 = 1/4인치 VCR · 8 = 기타 (문의) |
| 5 | 압력 표시 | 3 = Bar |
| 6 | 설치 방법 | T = 수평 설치 |
| 7 | 케이블 | N = 없음 · C = 1.5m |
| 8 | 가스 종류 | N2 = 질소 (기본) · 특수가스는 문의 |
유량 범위는 5 l/min 단위로 0~5 부터 0~50 까지 열 가지가 있고 모두 질소 기준입니다. 특수가스와 표에 없는 연결구는 문의해 주시면 확인해 드리겠습니다.
| 기능 | 질량 유량 제어 (MFC) |
|---|---|
| 동작 방식 | Capillary Thermal |
| 유량 범위 | 0 … 50 l/min (질소 기준) |
| 압력 범위 | 0.5 … 5 bar |
| 최대 허용 압력 | 30 bar |
| 정확도 | ±0.2% F.S. |
| 반복정밀도 | ±0.2% F.S. |
| 선형성 | ±1% F.S. |
| 제어 보증 범위 | 0.5% … 100% |
| 보호등급 | IP40 |
| 예열 시간 | 3분 권장 |
| 통신 | EtherCAT · RS-485 (Modbus) · 아날로그 전압 및 전류 |
| 바디 재질 | 316L |
| 사용 매체 | 질소 — 특수가스는 문의 |
| 매체 온도 · 보관 온도 | 0 ~ +55 °C · -40 ~ +60 °C (결빙 방지) |
형번을 고르셨다면 아래 칸에 그대로 들어가 있습니다. 적용 설비만 덧붙여 주시면 엔지니어가 구성안을 검토해 회신드립니다.
